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半导体气体很多是对人体有害。特别是其中有些气体如SiH4的自燃性,只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应,丙烷价格,开始燃烧;还有AsH3的毒性,任何些微的泄漏都可能造成人员生命的危害,也就是因为这些显而易见的危险,所以对于系统设计安全性的要求就特别高。气体的使用在半导体制程中一直扮演着重要的角色,特别是半导体制程目前已被广泛的应用于各项产业,凡举传统的ULSI、TFT-LCD到现在的微机电(MEMS)产业,皆以所谓的半导体制程为产品的制造流程,丙烷报价,其中的制程包括如干蚀刻、氧化、离子布植、薄膜沉积等皆使用到相当多的气体,丙烷厂家,而气体的纯度则对组件性能、产品良率有着决定性的影响,气体供应的安全性则关乎人员的健康与工厂运作的安全。

高压液化气体(H ighP ressu re L iquef iedGases) :临界温度大于或等于- 10℃且小于或等于70℃的气体。区分为不燃无毒和不燃有毒气体; 可燃无毒和自燃有毒气体; 易分解或聚合的可燃气体。此类气体充装时为液态,徐州丙烷,但在允许的工作温度下贮运和使用过程中其蒸汽压随温度的升高而升高, 超过临界温度时蒸发为气体。所包括的气体品种有一氧化二氮、二氧化碳、三氟甲烷、三氟氯甲烷、六氟化硫、氙、乙烷、乙烯、1, 1- 二氟乙烯、磷烷、氟乙烯。


气体的不相容性,氧化性气体和可燃气体是不相容的。常见的氧化性气体包括:氧气(O2)、笑气(N2O)、一氧化氮(NO)、二氧化氮(NO2)、三氟化氮(NF3)、氟气(F2)等。常见的可燃气体包括:氢气(H2)、(CH4)、其他碳氢化合物(烷烃、烯烃、炔烃等)、氨(N。酸性气体和碱性气体是不相容的。常见的酸性气体包括:(HBr)等,常见的碱性气体包括氨(NH3)、胺(RNH2)。  氧化性气体和还原性气体是不相容的。
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